Rustamaji, M.T. Dosen Pembimbing 1 Dicky Apriady / 112000204 Penulis Dr. lip Syarif Hidayat Dosen Pembimbing 2

Pada tugas akhir ini didisain dan difabrikasi filter optik jenis Microring-Resonator (MRR) untuk jaringan komunikasi optik yang berbasis Dense Wavelength Division Multiplexing (DWDM). Struktur MRR yang didisain antara lain : Single Microring-Resonator (SMR), Serial-Cascaded Microring-Resonator (SCMR), Parallel-Cascaded Microring-Resonator (PCMR), dan symmetric Parallel-Cascaded Microring-Resonator (APCMR). Disain dilakukan dengan cara mensimulasikan respon frekuensi tiap-tiap struktur untuk nilai koefisien kopling (K) yang berbeda-beda menggunakan program komputer. Persamaan transmitansi yang akan menghasilkan respon frekuensi, diturunkan dengan menggunakan metoda transfer matrix dan signal flow graph. Untuk fabrikasi MRR yang berbasis waveguide optik, digunakan bahan polymer. Fabrikasi menggunakan proses photo exposure serta wet etching dengan lebar waveguide pada masker sebesar 50 dan 200 micron. Dari perbandingan disain optimum untuk ketiga struktur dasar (SMR, SCMR, dan PCMR) didapatkan bahwa SCMR dengan 3 ring (SCMR-3) mempunyai karakteristik crosstalk dan bandwidth yang lebih baik yaitu sebesar - 33 dB dan 25 GHz. Untuk respon waktu, PCMR dengan 3 ring (PCMR-3) mempunyai karakteristik yang lebih baik dari struktur lainnya yaitu sebesar 33 ps (risetime) dan 63 ps (settling time). Perbandingan APCMR dengan struktur Double-Ring Resonator (DRR), menunjukkan bahwa pada DRR terjadi efek vernier dan mempunyai nilai crosstalk serta bandwidth yang lebih baik dari APCMR. Untuk nilai crosstalk yang sama pada 100 GHz yaitu sebesar -10 dB, APCMR mempunyai bandwidth sebesar 14.4. GHz, sedangkan DRR sebesar 15.4 GHz. Dengan membuat bandwidth kedua struktur sama yaitu sebesar 14.4 GHz, maka crosstalk di 100 GHz untuk APCMR sebesar -10 dB dan untuk DRR sebesar -11 dB. Pengamatan dan analisis waveguide polymer hasil fabrikasi dengan menggunakan mikroskop optik dan Scanning Electron Microscope (SEM) memperlihatkan bahwa permukaan dan dinding waveguide yang dihasilkan belum lurus dan rata. Waveguide yang dihasilkan berbentuk trapesium dengan puncak yang lebih kecil dari lebar masker dan mempunyai ketebalan sebesar 3 micron. Masker 200 micron akan menghasilkan waveguide dengan lebar 160 micron (berkurang 20 %) sedangkan masker 50 micron akan menghasilkan waveguide dengan lebar 21 micron (berkurang 58 %). Hasil pengamatan juga memperlihatkan bahwa masih terdapat banyak kotoran yang menempel pada permukaan substrat karena proses fabrikasi yang tidak dilakukan di clean room.