Prabowo Budi Laksono / 111997008 Penulis Dr. Totok M.S. Soegandi, M.Sc., APU. Dosen Pembimbing 1 Ika Hartika Ismet, Ir., M.A. Dosen Pembimbing 2

Teknologi semikonduktor merupakan teknologi yang sangat mahal. Dalam proses pembuatannya terkadang hasil penelitian yang dilakukan tidak sesuai dengan data-data karakteristik proses maupun sifat listrik yang diharapkan sesuai rancangan. Pada tugas akhir ini telah digunakan program simulasi Suprem3 dan Pisces2B untuk membantu proses pembuatan dioda yang meliputi oksidasi dan diffusi. Lamanya waktu yang digunakan pada proses pembentukan sambungan p-n tersebut merupakan perbandingan antara hasil perhitungan menggunakan Hukum Fick dengan plot ouput yang dihasilkan Suprem3. Sementara sifat listrik yang dihasilkan pada perancangan dapat diketahui dengan bantuan Pisces2B.